電感耦合等離子體發射光譜儀的性能特點：

1、分析精度高

電感耦合等離子體原子發射光譜儀可準確分析含量達到10-9級的元素，而且很多常見元素的檢出限達到零點幾μg/L，分析精度非常高。對高低含量的元素要求同時測定，尤其對低含量元素要求精度高的項目，使用ICP-AES法非常方便。

2、樣品范圍廣

電感耦合等離子體原子發射光譜儀可以對固態、液態及氣態樣品直接進行分析，但由于固態樣品不穩定、需要特殊的附件且有局限性，氣態樣品一般與質譜、氫化物發生裝置聯用效果較好，因此應用zui廣泛也優先采用的是溶液霧化法（即液態進樣）。而在測試工作中，運用一定的專業知識和經驗，采取各種化學預處理手段，通常都能將不同狀態的樣品轉化為液體狀態，采用溶液霧化法完成測定。溶液霧化法可以進行70多種元素的測定，并且可在不改變分析條件的情況下，同時進行多元素的測定，或有順序地進行主量、微量及痕量濃度的元素測定。

3、動態線性范圍寬

電感耦合等離子體原子發射光譜儀的動態線性范圍大于106，也就是說，在一次測定中，既可測百分含量級的元素濃度，也可同時測10-9級濃度的元素，這樣就避免了高濃度元素要稀釋、微量元素要富集的操作，既提高了反應速度，又減少了處理過程不可避免產生的誤差。

4、多種元素同時測定

多種元素同時測定是ICP-AES法zui顯著的特點。每一種物質無論是以何種物理狀態存在，其化學成分是很復雜的，既有必須存在的高濃度的主量元素，也存在不需要的雜質元素；有金屬元素，也有非金屬元素。用化學分析、原子吸收光譜法等只能單個元素逐一測定，而ICP-AES法可在適當的條件下同時測定，不但可測金屬元素，而且對很多樣品中必測的非金屬元素硫、磷、氯等也可一次完成，這也是原子吸收光譜儀達不到的。

5、定性及半定量分析

對于未知的樣品，等離子體原子發射光譜儀可利用豐富的標準譜線庫進行元素的譜線比對，形成樣品中所有譜線的“指紋照片”，計算機通過自動檢索，快速得到定性分析結果，再進一步可得到半定量的分析結果。這一優勢對于事故的快速初步的判斷、某種處理過程中的中間產物的分析、不需要非常準確的結果等情形非常快速和實用。