隨著三坐標測量機技術的發展，三坐標可以應用的行業越來越廣，由于三坐標測量機的結構材料對其測量精度、性能會有很大影響,所以對結構材料要求也越來越高，常見的結構材料主要有以下一些：
    1、鑄鐵

    鑄鐵是應用較為普遍的一種材料,主要用于底座、滑動與滾動導軌、立柱、支架、床身等.它的優點是變形小、耐磨性好、易于加工、成本較低、線膨脹系數與多數被測件(鋼件)接近,是早期三坐標測量機廣泛使用的材料.但鑄鐵也有缺點:易受腐蝕,耐磨性低于花崗石,強度不高.目前鑄鐵主要用在劃線機等測量機上.現在越來越多地被其它材料(如鋼板焊件、花崗石)代替.但也有些公司認為鑄鐵是較為理想的基座材料,它的線膨脹系數與鋼接近,在整個機器結構中只采用鐵金屬材料可避免復雜變形，鑄件可經過較長時間的自然時效,有利于保持長期穩定性.

    2、鋼

    鋼主要用于外殼、支架等結構,有的測量機底座也采用鋼.一般采用低碳鋼,而且必須要進行熱處理.鋼的優點是剛性和強度好.缺點是容易變形,這是因為鋼在加工之后,內部的殘余應力釋放導致變形.
    鋼材料的又一優點是可用焊接件.與鑄鐵件相比較,焊接件有以下優點：
    （1）焊接構件經過充分地人工時效后可獲得較高的穩定性.
    （2）能獲得較高剛度,設計的靈活性比鑄件要好,鋼構件比鑄鐵輕.而且條件允許下，可以焊接出空腔甚至多腔結構的封閉型高強度薄殼零件.在這方面,鑄件是難以達到的.
    （3）焊接件的尺寸可以得到很好的控制.成批生產條件下,靠夾具保證焊接件的尺寸;在單件或小批量生產時則靠工人的技術掌握.目前可以將誤差控制在±1mm以內,因此在外形設計和加工余量上都可以得到控制.
     當然,焊接件質量的優劣在很大程度上依賴于配套設備的性能.如的夾具、彎板以及自動焊接設備等.

     3、花崗石

     花崗石比鋼輕,比鋁重,是目前應用較為普遍的一種材料.花崗巖的主要優點是變形小、穩定性好、不生銹,易于作平面加工,易于達到比鑄鐵更高的平面度,適合制作高精度的平臺與導軌.目前許多三坐標測量機采用這種材料.花崗石可用于作工作臺、角尺、立柱、橫梁、導軌、支架、殼體等.由于花崗石的熱膨脹系數小,很適合與氣浮導軌配合.
     當然花崗石也存在不少缺點,主要是:雖然可以用粘貼的方法制成空心結構,但較麻煩;實心結構質量大,不易加工,特別是螺釘孔和光孔難以加工,不能將磁力表架吸附到其上,造價高于鑄鐵;花崗石材質較脆,粗加工時容易崩邊;遇水會產生微量變形.使用中應注意防水防潮,禁止用混水的清洗劑擦拭花崗石表面,也應防止靜壓氣體中的水分對導軌的影響.

     4、陶瓷

     陶瓷是近年來發展很快的材料.它是將陶瓷材料壓制成形后燒結,再研磨而得.它的特點是多孔、質量輕(密度約為3g/cm3)、強度高、易加工、耐磨性好、不生銹,適于作Y軸和Z軸導軌.它的缺點是制作設備造價高、工藝要求也較高,而且毛胚制造復雜,所以使用這種材料的測量機不多.

     5、鋁

     三坐標測量機主要是使用高強度鋁合金.鋁材料的優點是質量輕、強度高、變形小、導熱性能好,并且能進行焊接,適合作測量機上的許多部件.應用高強度鋁合金是目前的主要趨勢.

     三坐標測量機結構材料的發展經歷了由金屬到陶瓷、花崗石,再由這些自然材料發展到鋁合金，而且近年來,各國不斷推出新型材料應用于三坐標測量機.隨著對精度要求的不斷提高,對材料性能要求也越來越高.可以看出,三坐標測量機的材料向著輕便、變形小、穩定性好、易加工的方向發展.